如何正确设置.asmr838固晶机的点胶参数以确保固晶质量?_asmr838固晶机教程
首先进入设备操作界面,选择“点胶参数”设置模块。关键参数包括:点胶压力建议设置在35-45PSI范围内,点胶时间需根据胶水特性调整(通常为80-150ms),针头与晶圆距离应保持在0.1-0.3mm。特别注意要先行进行点胶轨迹校准,使用标准校准片确认胶点直径在晶圆pad尺寸的70%-80%之间。每次更换胶水类型时,必须重新进行压力曲线测试,并清洁点胶阀防止交叉污染。
首先进入设备操作界面,选择“点胶参数”设置模块。关键参数包括:点胶压力建议设置在35-45PSI范围内,点胶时间需根据胶水特性调整(通常为80-150ms),针头与晶圆距离应保持在0.1-0.3mm。特别注意要先行进行点胶轨迹校准,使用标准校准片确认胶点直径在晶圆pad尺寸的70%-80%之间。每次更换胶水类型时,必须重新进行压力曲线测试,并清洁点胶阀防止交叉污染。